濾光片膜層厚度的均勻性是指膜厚隨著基板表面位置變化而變化的情況。膜厚均勻性不好，膜系特性會(huì)遭到嚴(yán)重的破壞，所以薄膜厚度的均勻性如同薄膜厚度監(jiān)控一樣是一個(gè)重要的課題。
對(duì)于不同的薄膜往往有不同的均勻性要求。對(duì)單層MgF2減反射膜，若膜厚為λ0/4（λ0=520nm），則均勻性誤差一般不得超過40nm，否則就會(huì)在同一基板上出現(xiàn)不同顏色。要求最嚴(yán)格的是窄帶濾光片，其均勻性誤差所引起的整個(gè)濾光片表面上的峰值波長(zhǎng)變化不能大于半寬度的0.3倍。對(duì)于一個(gè)直徑不大于50mm、在可見光區(qū)半寬度不小于20nm的濾光片，這個(gè)要求不算太高，但是對(duì)于更大直徑和更窄半寬度的濾光片問題就非常突出。對(duì)截止陡度要求很高的截止濾光片也是同樣，均勻性不好將導(dǎo)致過渡性嚴(yán)重惡化。
兆九光電憑借技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，生產(chǎn)的濾光片都具有極佳的均勻性，得到了客戶的一致好評(píng)。
