大鍍膜是一個比較有特色的鍍膜技術(shù)，在國家863高技術(shù)項(xiàng)目的推動下，鍍膜設(shè)備和技術(shù)不斷得到更新和改進(jìn)。同時遇到的問題既具有普遍性又有不同于一般小口徑光學(xué)元件的特殊性。本文圍繞著大型激光反射鏡光學(xué)薄膜元件鍍膜中的關(guān)鍵問題進(jìn)行了分析研究。主要內(nèi)容包括：
㈠普遍性問題：大型激光光學(xué)元件主要以反射膜為主，在反射膜的鍍制檢驗(yàn)中，膜層的環(huán)境穩(wěn)定性是一個很重要的指標(biāo)。通過一系列條件實(shí)驗(yàn)研究了膜層的保護(hù)性能，對膜層的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析，給出了改善附著原因的解釋。光性主要是用離子輔助沉積解決了介質(zhì)膜層的吸收，寬波段反射膜系設(shè)計(jì)解決了反射帶的展寬，從實(shí)驗(yàn)上獲得了較好的效果。
㈡特殊性問題：由于大型激光光學(xué)元件具有很大尺寸和重量，因此在整個鍍制過程中元件裝卡的安全性，工裝夾具的強(qiáng)度與面形變化的關(guān)系需要深入的研究。應(yīng)用有限元法對大型激光元件作了靜力學(xué)分析，提出了工裝夾具改進(jìn)方案，對今后將要鍍制的更大型的光學(xué)薄膜元件的裝卡方式和夾具進(jìn)行了探討。
