由于激光的相干性,?微型小曲率半徑雙凹球面擴(kuò)束鏡表面或內(nèi)部微小疵點(diǎn)、微粒等會(huì)在準(zhǔn)直后的激光束周圍產(chǎn)生雜散光斑,?會(huì)降低激光束質(zhì)量,?增大光能耗損, 因此在激光器產(chǎn)品中對(duì)微型擴(kuò)束鏡的質(zhì)量要求具有與常規(guī)透鏡不同的更為嚴(yán)格的技術(shù)要求,?即表面粗糙度必須達(dá)到01004?Lm(?Ra)?,?屬準(zhǔn)超光滑表面.
微型擴(kuò)束鏡加工工藝的特點(diǎn)
(?1)?高速高壓與中速低壓相結(jié)合的工藝超光滑工藝應(yīng)該用低速低壓,?在杠桿光學(xué)機(jī)上主軸轉(zhuǎn)速在10ypm?以下,?壓強(qiáng)在200Pa?以下,?但這樣的參數(shù)取砂眼速度很慢,?所以選用高速高壓進(jìn)行先期加工,?除取砂眼,?達(dá)到初步目的。
(?2)?超微粉拋光液與紅粉拋光液的使用一般拋光粉(?CeO2)?,?其顆粒為幾微米大小,?甚至幾十微米,?超光滑工藝要求1?微米以下,?才有較好的效果,?我們用沉降法達(dá)到超微粉顆粒,?也可選用紅粉(?FeO3)?,?會(huì)有更好的效果。
(?3)?特殊的拋光模的作用通常在低速低壓超光滑工藝中的拋光模不能用聚氨酯,?應(yīng)用柏油模,?并且要比常規(guī)的拋光模要軟一號(hào),?而我們采用了特制的拋光模,?使用中速低壓,?并加入潤(rùn)滑劑,?解決傳統(tǒng)式的缺陷,?效果很明顯。
(?4)?工作溫度控制一般情況下,?高效拋光時(shí)拋光液溫度為25~30?e?,?我們而超光滑拋光時(shí)工作溫度為20~?25?e?,根據(jù)拋光劑的種類與工件玻璃牌號(hào)經(jīng)過(guò)試驗(yàn),?確定了符合拋光模條件的更佳工作溫度。
(?5)?無(wú)拋光劑拋光超光滑的最后階段應(yīng)該加水拋光,?而我們更注重?zé)o雜質(zhì)的PH?值為7?的中性純凈水進(jìn)行修正拋光。
(?6)?檢驗(yàn)方法為防止在檢驗(yàn)過(guò)程中的碰傷或誤檢、漏檢而影響質(zhì)量,?經(jīng)過(guò)研究,?我們選用了無(wú)觸點(diǎn)式的激光光斑檢驗(yàn)法,?以確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定出廠合格率。
微型擴(kuò)束鏡相對(duì)孔徑大,?又是凹球面,?要想達(dá)到高等級(jí)表面疵病質(zhì)量和準(zhǔn)超光滑表面難度很大,?經(jīng)過(guò)試驗(yàn)研究,?已取得了初步成效,?產(chǎn)品一次送檢合格率已達(dá)到80%?以上,?且生產(chǎn)效率也很滿意。堅(jiān)信21世紀(jì)是光電的世紀(jì),?激光領(lǐng)域的前景一定會(huì)越來(lái)越廣闊,?作者更愿與更多的激光器生產(chǎn)企業(yè)共同攜手合作,?生產(chǎn)出更多高質(zhì)量、低成本的激光準(zhǔn)直擴(kuò)束鏡,?為激光事業(yè)的發(fā)展作出更大的貢獻(xiàn)。
