鍍膜是一個比較有特色的鍍膜技術,在國家863高技術項目的推動下,鍍膜設備和技術不斷得到更新和改進。同時遇到的問題既具有普遍性又有不同于一般小口徑光學元件的特殊性。本文圍繞著大型激光反射鏡光學薄膜元件鍍膜中的關鍵問題進行了分析研究。主要內容包括:
㈠普遍性問題:大型激光光學元件主要以反射膜為主,在反射膜的鍍制檢驗中,膜層的環(huán)境穩(wěn)定性是一個很重要的指標。通過一系列條件實驗研究了膜層的保護性能,對膜層的微觀結構進行了分析,給出了改善附著原因的解釋。光性主要是用離子輔助沉積解決了介質膜層的吸收,寬波段反射膜系設計解決了反射帶的展寬,從實驗上獲得了較好的效果。
㈡特殊性問題:由于大型激光光學元件具有很大尺寸和重量,因此在整個鍍制過程中元件裝卡的安全性,工裝夾具的強度與面形變化的關系需要深入的研究。應用有限元法對大型激光元件作了靜力學分析,提出了工裝夾具改進方案,對今后將要鍍制的更大型的光學薄膜元件的裝卡方式和夾具進行了探討。