隨著激光技術(shù)的發(fā)展,?人們將注意力越來越多地投注到激光技術(shù)在其他技術(shù)領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用上,?并且出現(xiàn)了許多切合實際應(yīng)用的新設(shè)備。在這些激光應(yīng)用領(lǐng)域中,?無不涉及到對激光光束的調(diào)制和掃描技術(shù)早期的激光應(yīng)用系統(tǒng),?如:?激光切割,?焊接,?打標(biāo)等設(shè)備均采用固定激光頭同時沿X一Y?方向移動載有被加工物體的平臺。這種方式具有方便和簡潔等特點,?配合高精度的驅(qū)動電機和轉(zhuǎn)動絲杠也可獲得很高的加工精度。但是平臺的移動速度和行程均受到很大的限制,?對于在線應(yīng)用的系統(tǒng)就顯得力不從心了。
旋轉(zhuǎn)多棱鏡是另外一種激光束掃描調(diào)制的手段。在這種掃描方式中,?一個高速旋轉(zhuǎn)的電機帶動著多角棱鏡旋轉(zhuǎn),?激光束投射到棱鏡的表面上并反射。在棱鏡轉(zhuǎn)動的過程中,?投射到棱鏡表面激光的入射角發(fā)生變化從而使反射光完成掃描過程。在這種掃描方式中,?可以實現(xiàn)很高的掃描頻率和較大的掃描角度早期的激光打印機和激光照排等設(shè)備中,?大多使用這種掃描方式。但是旋轉(zhuǎn)多棱鏡的最大缺陷在于它的掃描效率很低,?因此在一些需要較大的入射孔徑和較高分辨率的應(yīng)用中,?就不能令人滿意了。
振鏡式掃描是由G?e?n?e?r?a?l?cS?a?n?n?i?n?g?實驗室發(fā)展起來的一種激光掃描技術(shù),?自從1?9?6?5年第一個振鏡掃描頭被發(fā)明以來,?在掃描精度上和頻率上有了長足的發(fā)展。從目前的掃描性能上來說,?振鏡式掃描可以算作最好的激光掃描方式之一。它是利用兩個振鏡掃描頭構(gòu)成的二維激光掃描成像裝置。目前這樣的激光掃描裝置已廣泛地應(yīng)用到激光打標(biāo),半導(dǎo)體調(diào)阻和共焦顯微成像系統(tǒng)中。
通常使用的這種基于激光掃描的成像技術(shù)稱為“?激光共焦(?顯微)?成像”?技術(shù)。在這種激光共焦顯微成像系統(tǒng)中,?一只固定的高靈敏度點探測器代替了傳統(tǒng)的C?C?D。光束掃描系統(tǒng)(通常采用振鏡掃描系統(tǒng))?將激光光束指向被檢測物體上的一點,?成像系統(tǒng)將來自該點的反射光會聚于點探測器并構(gòu)成最終成像中的一像素。然后光束掃描系統(tǒng)將激光束指向下一點,?檢測過程再重復(fù)進行。如此一點一點進行測量,?直至全部成像完成。與C?C?D成像方式不同,?在這樣的檢測過程中,?像素的位置由掃描光束的位置確定而不是由(?C?C?D中)?探測器中的固定檢測單元決定。因此這樣的檢測方式中,?我們可以通過軟件來控制變焦過程。成像像素數(shù)目(?分辨率)?則由掃描像素時鐘(?P?i?x?e?l?C?l?o?e?k?)確定。在許多實際應(yīng)用中,?上述技術(shù)(?相干光加上像素密度可調(diào)節(jié))?較傳統(tǒng)C?C?D?技術(shù)有很大的優(yōu)越性。這些應(yīng)用包括:?共焦成像,?雙光子激發(fā)成像,?熒光成像,?金屬及玻璃等缺陷檢測/?監(jiān)測等過程。
